Weißlichtinterferometrie (WLI): Optische 3D-Präzisionsmesstechnik in der Produktionslinie

Sind Rauheit, Welligkeit und Form mit hoher Genauigkeit zu bestimmen, werden heute überwiegend taktile Messverfahren eingesetzt. Im Laborbereich hat sich zudem die Weißlichtinterferometrie (WLI) durchgesetzt, womit Oberflächen berührungslos und zudem flächig vermessen werden können. Weder taktile Verfahren noch Standard-WLI können jedoch mit den Taktzeiten automatisierter Produktionslinien Schritt halten.

Dank der Entwicklung sogenannter Lock-In Bildsensoren und FPGA-basierten Kameras ist es in den letzten Jahren gelungen, die Messzeiten von WLI-Sensoren um den Faktor 1000 zu beschleunigen. Die Weißlichtinterferometrie kann somit direkt in die Produktionslinie integriert werden. Langwierige Untersuchungen im Messlabor (Stichproben) werden durch automatisierte inline Prüfungen ersetzt werden (100%).

Der Vortrag zeigt anhand breit gefächerter Anwendungsbeispiele auf, welche Möglichkeiten die „industriellen WLI“ bereits heute eröffnen. Die Technik eignet sich insbesondere auch für anspruchsvolle Bedingungen: glänzende oder transparente Oberflächen, Sub-Mikrometer Strukturen oder versenkte Strukturen. Im zweiten Teil des Vortrages wird die Technologie der Lock-In Bildsensoren erläutert, sowie auf die besonderen Anforderungen und Merkmale der industriellen WLI eingegangen. Möglichkeiten der Integration auf System- und Komponentenebene werden an Beispielen vorgestellt (OEM).